Уникальная UHV-установка по напылению тонких пленок магнетронным и электронно-лучевым способом

Уникальная UHV-установка по напылению тонких пленок магнетронным и электронно-лучевым способом (в том числе магнитных материалов) разработана ведущим научным сотрудником лаборатории В. С. Столяровым. Установка базируется в лаборатории сверхпроводимости ИФТТ РАН  (находится в полном доступе).

Уникальная UHV-установка по напылению тонких пленок магнетронным и электронно-лучевым способом